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[发明专利]蓝宝石单晶炉双向对称式抽空系统-CN201210361805.X有效
发明人：李荣林;李辉;闫杰;姜宏伟;张洪涛 -专利权人：南京晶升能源设备有限公司
申请日： 2012-09-26 - 公布日： 2013-01-02 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于蓝宝石单晶炉的双向对称式抽空系统，包括真空泵组和设置在单晶炉上的抽真空管道，其中：所述的抽真空管道包括对称的左抽空管道和右抽空管道，其具体结构为：腔体设有两个贯通对称的抽空口，分别通过法兰与左抽空管道、右抽空管道密封连接，左、右抽空管道外壁分别焊有螺旋式缠绕水冷管，一个抽空管道上设有弹簧式安全泄压装置，另一个抽空管道上设有真空角阀；十字管道通过管道托架连接固定在腔体外壁上，左抽空管道和右抽空管道交汇于十字管道，通过法兰与十字管密封连接；真空泵组通过法兰与十字管道密封连接，十字管道上设有低真空计和高真空计。
蓝宝石单晶炉双向对称抽空系统

[实用新型]蓝宝石单晶炉双向对称式抽空系统-CN201220493995.6有效
发明人：李荣林;李辉;闫杰;姜宏伟;张洪涛 -专利权人：南京晶升能源设备有限公司
申请日： 2012-09-26 - 公布日： 2013-05-22 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种蓝宝石单晶炉双向对称式抽空系统，包括真空泵组和设置在单晶炉上的抽真空管道，其中：所述的抽真空管道包括对称的左抽空管道和右抽空管道，其具体结构为：腔体设有两个贯通对称的抽空口，分别通过法兰与左抽空管道、右抽空管道密封连接，左、右抽空管道外壁分别焊有螺旋式缠绕水冷管，一个抽空管道上设有弹簧式安全泄压装置，另一个抽空管道上设有真空角阀；十字管道通过管道托架连接固定在腔体外壁上，左抽空管道和右抽空管道交汇于十字管道，通过法兰与十字管密封连接；真空泵组通过法兰与十字管道密封连接，十字管道上设有低真空计和高真空计。
蓝宝石单晶炉双向对称抽空系统

[实用新型]一种用于真空管道抽空装置的抽空阀门-CN201620225482.5有效
发明人：徐云飞;张建国;马伟浩;马宏瑞;田彪;吕旭东;方敏 -专利权人：杭州川空通用设备有限公司
申请日： 2016-03-23 - 公布日： 2016-08-17 - 主分类号： F16K3/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于真空管道抽空装置的抽空阀门，包括阀体、设置在阀体内的阀杆和设置在阀杆底部的密封塞以及设置在阀体一侧的抽空管道连接通道，所述抽空管道连接通道与阀体垂直设置，所述阀体顶部与阀杆之间设有若干上密封圈和垫圈本实用新型与真空管道抽空口能便捷、可靠的连接，确保抽空过程及抽空任何环节，不受真空管道震动、移位或管道侧翻等因素的影响；抽空管道连接通道与阀体垂直设置，保证阀体在任何方位都与抽空管道互成90°位置，抽空管道连接通道与抽空管道连成一直线，可确保抽空连接管路不易泄漏，提高了抽空管路连接的可靠性。
一种用于真空管道抽空装置阀门

[实用新型]一种抽空管道以及具有该抽空管道的单晶炉结构-CN202123269989.0有效
发明人：王维;黄鸣;陈辉;常晓鱼 -专利权人：北京北方华创真空技术有限公司
申请日： 2021-12-23 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本申请涉及管道除灰领域，尤其是涉及一种抽空管道以及具有该抽空管道的单晶炉结构，其技术方案要点是：抽空管道包括管道本体，管道本体上设置有与管道本体内部连通的进气口；达到了减少抽空管道内管壁上SiO的粘附积累的目的
一种抽空管道以及具有单晶炉结构

[实用新型]一种分子泵真空管的密封性检测装置-CN202220500970.8有效
发明人：龚鹰;程中华;张东海 -专利权人：上海镬隆机电有限公司
申请日： 2022-03-09 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： G01M3/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种分子泵真空管的密封性检测装置，包括：抽空管道、连接头、抽空活塞、单向气阀、连接杆、驱动气缸、强力弹簧、基座，所述的抽空管道为圆筒形密封管道，抽空管道的两端为开口，所述的连接头固接在抽空管道的前端，连接头用于连接真空管的一端，而在使用时，真空管的另一端采用密封头进行密封连接，所述的抽空活塞滑动连接在抽空管道的内部，所述的单向气阀设置在抽空活塞上，所述的连接杆固接在抽空活塞的后侧，所述的驱动气缸固接在基座上，所述的强力弹簧一端连接在驱动气缸的伸缩端，另一端连接在连接杆的前端，所述的基座水平设置，且抽空管道固接在基座的后端。
一种分子真空管密封性检测装置

[发明专利]抽空管道在线自清洁装置-CN202010857754.4在审
发明人：曹玉宝;尹嘉琦;王学卫;徐永胜;王明升 -专利权人：连城凯克斯科技有限公司
申请日： 2020-08-24 - 公布日： 2020-11-24 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本发明提供一种抽空管道在线自清洁装置，所述自清洁装置设置在硅单晶炉的真空抽空管道上，且所述自清洁装置靠近所述真空抽空管道的入口处，所述真空抽空管道上开设有穿入孔；所述自清洁装置包括通过所述穿入孔穿入所述真空抽空管道内的搅拌清洁装置和设置在所述真空抽空管道外本发明能够在硅单晶炉正常运行状态下，驱动减速电机，带动搅拌清洁装置旋转，切割搅拌附着在真空抽空管道入口段内壁的杂质或挥发物，使所述杂质或挥发物脱离所述真空抽空管道内壁，并受真空泵组抽空负压力作用，所述杂质或挥发物流向过滤器和真空泵组
抽空管道在线清洁装置

[实用新型]抽空管道在线自清洁装置-CN202021782664.5有效
发明人：曹玉宝;尹嘉琦;王学卫;徐永胜;王明升 -专利权人：连城凯克斯科技有限公司
申请日： 2020-08-24 - 公布日： 2021-02-12 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型提供一种抽空管道在线自清洁装置，所述自清洁装置设置在硅单晶炉的真空抽空管道上，且所述自清洁装置靠近所述真空抽空管道的入口处，所述真空抽空管道上开设有穿入孔；所述自清洁装置包括通过所述穿入孔穿入所述真空抽空管道内的搅拌清洁装置和设置在所述真空抽空管道外本实用新型能够在硅单晶炉正常运行状态下，驱动减速电机，带动搅拌清洁装置旋转，切割搅拌附着在真空抽空管道入口段内壁的杂质或挥发物，使所述杂质或挥发物脱离所述真空抽空管道内壁，并受真空泵组抽空负压力作用，所述杂质或挥发物流向过滤器和真空泵组
抽空管道在线清洁装置

[实用新型]一种盐酸合成炉尾气排空装置-CN201620966895.9有效
发明人：叶得强;朱伯麟;路八智;沙剑;苏青天;李雪玲;高德成;胡金瑜 -专利权人：金川集团股份有限公司
申请日： 2016-08-29 - 公布日： 2017-04-05 - 主分类号： C01B7/01 文献下载
摘要：一种盐酸合成炉尾气排空装置，涉及化工设备技术领域，包括尾气吸收塔1，尾气吸收塔1与尾气排空管道2相连，尾气吸收塔1与尾气排空管道2之间设有炉膛抽空管道，炉膛抽空管道后部设有风机5，炉膛抽空管道上设有气液分离器3，尾气吸收塔1与尾气排空管道2之间设有第一电控阀6，第一电控阀6与尾气吸收塔1之间设有炉膛抽空管道，炉膛抽空管道与风机5之间设有滞留检测弯管4，滞留检测弯管4中设有湿度检测器，湿度检测器与主控模块11
一种盐酸合成尾气排空装置

[实用新型]一种生产海绵钛的蒸馏系统-CN201920924870.6有效
发明人：张履国;李斗良;舒煜 -专利权人：遵义钛业股份有限公司
申请日： 2019-06-19 - 公布日： 2020-03-27 - 主分类号： C22B9/02 文献下载
摘要：一种生产海绵钛的蒸馏系统,包括热端系统（1）、冷端系统（2）、氯化镁管（3）、高真空阀（4）、真空管道（5）和抽空系统（6）;在所述氯化镁管（3）和真空管道（5）之间设有高真空阀（4）;在所述真空管道（5）尾端连接有抽空系统（6）。本实用新型结构简单，利用氯化镁管道作为抽空管道，使氯化镁管与真空系统连接；简化大盖结构，减少大盖焊缝连接，减少产品进气几率，改变了真空抽空路径，达到高效抽空蒸馏目的；克服了海绵钛蒸馏时，因钛坨偏大，钛坨蒸馏时间长的问题
一种生产海绵蒸馏系统

[发明专利]一种手术用组织抓取装置-CN201610924765.3在审
发明人：于慧博;刘艳春 -专利权人：于慧博
申请日： 2016-10-30 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： A61B90/14 文献下载
摘要：为解决现有技术中所存在的技术问题，本发明提供一种手术用组织抓取装置，其包括吸盘，与吸盘内腔贯通连接的抽空管道，抽空管道的底部设有端盖，所述抽空管道的内腔中固定设置有丝杠螺母，在丝杠螺母与端盖之间固定设有两根平行导轨，导轨沿抽空管道轴向设置；还包括设置在抽空管道内腔中的滑块，两根平行导轨穿过滑块，滑块可沿导轨自由滑动，滑块上固定丝杠电机；还包括设置在丝杠螺母上方的抽空管道内腔中的第一活塞，在第一活塞的底面镶嵌有轴承
一种手术组织抓取装置

[发明专利]一种真空管道抽空装置及其抽空方法-CN201610167355.9在审
发明人：张建国;徐云飞 -专利权人：杭州川空通用设备有限公司
申请日： 2016-03-23 - 公布日： 2016-06-08 - 主分类号： F04B37/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种真空管道抽空装置，包括循环加热送风系统、高真空抽空机组、抽真空系统、氮气置换回路和闭环抽空系统连接管路，所述循环加热送风系统包括电加热器、离心中压风机、加热集合管和截止阀，所述加热集合管一侧连接有旁通阀；所述高真空抽空机组包括真空机组、管路真空阀和管路真空规管；抽真空系统包括抽空分路真空阀、抽空集合管、抽空管路真空阀和抽空集合管规管；所述氮气置换回路包括氮气置换真空阀和氮气瓶；所述闭环抽空系统连接管路抽空管道和抽空阀门；所述高真空抽空机组和氮气置换回路分别与抽真空系统相连。本发明成本低、操作简便、稳定性好、功能先进、易控制、工效高、多任务、柔性，满足各设计工况下真空管道抽真空。
一种真空管道抽空装置及其方法

[实用新型]一种真空管道抽空装置-CN201620225477.4有效
发明人：张建国;徐云飞 -专利权人：杭州川空通用设备有限公司
申请日： 2016-03-23 - 公布日： 2016-08-31 - 主分类号： F04B37/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种真空管道抽空装置，包括循环加热送风系统、高真空抽空机组、抽真空系统、氮气置换回路和闭环抽空系统连接管路，循环加热送风系统包括电加热器、离心中压风机、加热集合管和截止阀，所述加热集合管一侧连接有旁通阀；所述高真空抽空机组包括真空机组、管路真空阀和管路真空规管；抽真空系统包括抽空分路真空阀、抽空集合管、抽空管路真空阀和抽空集合管规管；所述氮气置换回路包括氮气置换真空阀和氮气瓶；所述闭环抽空系统连接管路抽空管道和抽空阀门；高真空抽空机组和氮气置换回路分别与抽真空系统相连。本实用新型成本低、操作简便、稳定性好、功能先进、易控制、工效高、多任务、柔性，满足各设计工况下真空管道抽真空。
一种真空管道抽空装置

[发明专利]一种长晶炉热能再利用的管道系统-CN202210040858.5在审
发明人：李辉;杨茜;王守琛;苏闻峰 -专利权人：南京晶升装备股份有限公司
申请日： 2022-01-14 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种长晶炉热能再利用的管道系统，包括用于通入工艺气体的气体管道和用于排出废气的抽空管道，抽空管道套设于气体管道外侧，且气体管道的进气口和出气口均位于抽空管道外。通过抽空管道中的废气对气体管道中的工艺气体进行预热，预热后的工艺气体对炉膛温度的影响更小，避免了充入冷气造成局部过冷，增加了晶体生长的良率，使得热场温度更可控，结果更接近模拟的结果。从结构上看，抽空管道和气体管道为一体式结构，不同于常规分体结构，减少了设备开孔数量，使设备结构更为紧凑。
一种长晶炉热能再利用管道系统

[发明专利]电子级别三氟化氯供料系统和方法、收料系统和方法-CN202211204334.1有效
发明人：丁勇;杨俊豪;彭元明;傅铸红;陈艳珊;廖恒易;裴友宏;张堃;梁战军;贺蜀光;候振宇;谭建成;汤鲲彪;李權;高超;罗艳;陈文秀;洪敏 -专利权人：四川红华实业有限公司;广东华特气体股份有限公司
申请日： 2022-09-29 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： F17C9/02 文献下载
摘要：该系统包括：主管道、一级抽空管道、二级抽空管道和控制模块。通过在主管道的一端设置与其连通的一、二级抽空管道，在一级抽空管道的另一端设置两个相对的在两端具有不同横截面积的开口，先通过在这两个开口中吹入氮气来对主管道中的三氟化氯气体进行清除，再利用二级抽空管道的另一端连接的真空抽吸设备进行高真空度的抽真空处理，通过控制主阀门和供/收料阀门进行三氟化氯气体的供料和收料，大大降低了抽空管路所使用的设备由于三氟化氯气体的高腐蚀性而导致的损坏，提高了三氟化氯气态供料/收料的可靠性，实现了供料/收料流程的自动化，提高了供料
电子级别氟化供料系统方法

[发明专利]一种用于海绵钛生产中的真空装置-CN202110359671.7在审
发明人：曹海国;刘方明;王邦兴;毛业桥;舒煜;张宗财;杨成虎 -专利权人：遵义钛业股份有限公司
申请日： 2021-04-02 - 公布日： 2021-07-02 - 主分类号： C22B9/04 文献下载
摘要：一种用于海绵钛生产中的真空装置，由过滤箱、真空管道A、B、电磁阀A、B、真空管道螺杆泵、罗茨泵A、B、和抽空管道组成；过滤箱顶部设有抽空管道和真空管道B；过滤箱侧上部通过真空管道A连接真空管道B，在真空管道A设有电磁阀A；在真空管道B上分别设有罗茨泵B、罗茨泵A，在真空管道B的一端口设有螺杆泵；在真空管道B上设有电磁阀B；抽空管道连接蒸馏炉的氯化镁管。
一种用于海绵生产中的真空装置

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